परमाणु शब्द का उपयोग सर्वप्रथम भारतीय दार्शनिक महर्षि कणाद ने 1400 ई पूर्व किया था। उनके अनुशार परमाणु पदार्थ का अति सूक्ष्म कण है।
जान डाल्टन के अनुशार भी पदार्थ को छोटे छोटे अविभाज्य कणों से मिलकर बना हुआ माना गया था। किन्तु 19 वी शताब्दी के अंत मे सर जे जे थामसन ने सिद्ध किया की यह प्रमुख रूप से इलेक्ट्रॉन, प्रोटॉन एवं न्यूट्रॉन से मिलकर बना होता है।